特許

J-GLOBAL ID：200903090187672524

磁気研磨方法及び磁気研磨装置

発明者： 土屋 和博 ,  川久保 英樹 ,  宮沢 信
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-237466
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061810
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 強磁性材粒子2、砥粒3及び結合材4を用いた混合型磁性研磨材を用いる磁気研磨方法における研磨性能を向上させる最適な研磨条件を見い出す。また、被研磨物の厚さによらず均一な研磨ができる磁気研磨装置を提供する。【解決手段】 強磁性材粒子2として不定形粒子、硬度Hvが300以下のものを用いる。強磁性材粒子2を硬度の低い材料で被覆する。結合材4を融点30〜65°Cの油脂を用いる。混合型磁性研磨材1を、強磁性材粒子40〜70容量%、砥粒15〜35容量%、結合材15〜35容量%の混合比で構成する。また、磁気研磨装置において、磁気回路の磁束数を検出する磁束数測定器を備え、磁束数の変化に応じて電磁石の電力を調整して厚さが部分的に異なる非磁性材料の被研磨物を一定の研磨圧力で研磨する。

請求項（抜粋）：

強磁性材粒子、砥粒及び結合材を主成分として用いた混合型磁性研磨材を磁気吸引力で被研磨物に圧接させながら、これらの混合型磁性研磨材と被研磨物とを相対運動させることにより、前記被研磨物を研磨する磁気研磨方法において、前記強磁性材粒子が、不定形状粒子であることを特徴とする磁気研磨方法。

IPC (2件)：

B24B 31/112 ,  B24B 37/00

FI (2件)：

B24B 31/112 ,  B24B 37/00 D

Fターム (15件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AB01 ,  3C058AB04 ,  3C058CA01 ,  3C058CA03 ,  3C058CA04 ,  3C058CA06 ,  3C058CA07 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 磁気研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-209343   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開平4-223864