不要電気めっき堆積物の除去方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-128442
公開番号（公開出願番号）：特開2002-097582
出願日： 2001年03月22日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】【課題】不要な堆積物を基体から除去するための装置及び方法を提供する。【解決手段】本発明は、エッチャントをエッジビード除去チャンバへ供給するシステムが提供される。本装置は、エッチャントを貯蔵することができるエッチャントタンク162と、エッチャントタンク内に容れられているエッチャントのレベルを検知するセンサと、検知されたレベルに応答して1つまたはそれ以上の化学成分をエッチャントとして混合し、エッチャントタンクへ供給する混合タンク168を有している。

請求項（抜粋）：

エッチャントをチャンバへ供給する装置であって、エッチャントを貯蔵することができるエッチャントタンクと、上記エッチャントタンクに結合されている流体レベルセンサと、上記流体レベルセンサに応答し、1つまたはそれ以上の化学成分をエッチャントとして混合する混合タンクと、を備えていることを特徴とする装置。

IPC (6件)：

C23F 1/08 103 , C23F 1/16 , C25D 5/48 , H01L 21/288 , H01L 21/306 , H01L 21/308

FI (6件)：

C23F 1/08 103 , C23F 1/16 , C25D 5/48 , H01L 21/288 Z , H01L 21/308 G , H01L 21/306 R

Fターム (35件)：

4K024AA09 , 4K024AB19 , 4K024BA11 , 4K024BB12 , 4K024BC06 , 4K024DB10 , 4K024GA02 , 4K057WA01 , 4K057WA04 , 4K057WA19 , 4K057WB17 , 4K057WC10 , 4K057WE02 , 4K057WE03 , 4K057WE13 , 4K057WE25 , 4K057WK01 , 4K057WM06 , 4K057WM11 , 4K057WM17 , 4K057WN01 , 4M104BB04 , 4M104CC01 , 4M104DD33 , 4M104DD43 , 4M104DD52 , 4M104DD64 , 4M104DD75 , 4M104HH20 , 5F043EE07 , 5F043EE08 , 5F043EE10 , 5F043EE28 , 5F043GG02 , 5F043GG04

前のページに戻る