特許
J-GLOBAL ID:200903090199526728

三次元形状測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 福留 正治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-148723
公開番号(公開出願番号):特開平5-322527
出願日: 1992年05月15日
公開日(公表日): 1993年12月07日
要約:
【要約】【目的】 スリット光により複雑な面形状の三次元形状測定装置を提供する。【構成】 直交3軸式に位置制御されるロボットアーム11に、同軸回転する基部21と、これに支持されたスイングアーム22と、このアームと同軸回転するプローブ取付け台23とからなり、各回転及びスイングが共通の回転中心点Oで行われる3軸回転装置20を取付ける。プローブ取付け台23に、被測定面にレーザスリット光を照射するレーザ光源14aと、面直に入射したその反射光を斜め方向から撮像するCCDカメラ14bを取付ける。標準面形状の複数の測定点に対して予め作成した制御データを基に、回転中心点Oを各測定点に対して所定の三次元の離間位置から面直に光照射させるように、ロボットアーム11及び3軸回転装置20を制御するロボット制御手段17と、撮像面への反射光の入射位置から各測定点の実際の三次元位置を検出する画像信号解析手段18とを付属させる。
請求項(抜粋):
直交3軸式に位置制御されるロボットアームの先端部に、ロボットアームと同軸状に回転する基部と、この基部にスイング可能に支持されたスイングアームと、このスイングアームと同軸状に回転するプローブ取付け台とからなり、かつ前記各回転及びスイングが共通の回転中心点で行われる3軸回転装置を取付けると共に、前記プローブ取付け台に、被測定面にレーザスリット光を照射するレーザスリット光源と、面直に入射した前記レーザスリット光の被測定面での反射光を斜め方向から撮像するイメージセンサとを備えたプローブを取付け、前記被測定面の標準面形状の複数の測定点に対して予め作成した制御データを基に前記回転中心点を前記各測定点に対して所定の三次元の離間位置から面直に前記レーザスリット光を照射させるように、前記ロボットアーム及び前記3軸回転装置を制御するロボット制御手段と、前記イメージセンサの撮像面への前記スリット光の反射光の入射位置から前記各測定点の実際の三次元位置を順に検出して前記被測定面の形状を解析する画像信号解析手段とが付属したことを特徴とする三次元形状測定装置。

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