特許

J-GLOBAL ID：200903090199697069

ダイピックアップ装置

発明者： 山崎 信人 ,  西尾 秀次 ,  田口 隆行 ,  佐藤 安
出願人/特許権者： 株式会社新川
代理人 (1件)： 田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-058553
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273529
出願日： 2003年03月05日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】面積の大きくて厚さも薄いダイに変形を与えないで確実に粘着シートより剥離させることができる。【解決手段】ダイ2が貼り付けされた粘着シート1を吸着する吸着ステージ11と、ダイ2を突き上げる突き上げ部材12と、突き上げ部材12で突き上げられたダイ2を吸着して搬送するコレット21とを備えている。コレット21の下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面25を有するダイ吸着体23が固定されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記コレットの下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面を有するダイ吸着体が固定されていることを特徴とするダイピックアップ装置。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  H01L21/52

FI (3件)：

H01L21/68 E ,  H01L21/68 B ,  H01L21/52 F

Fターム (16件)：

5F031CA02 ,  5F031CA13 ,  5F031DA15 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA23 ,  5F031GA26 ,  5F031GA32 ,  5F031HA13 ,  5F031HA78 ,  5F031MA34 ,  5F031MA35 ,  5F031MA40 ,  5F031PA20 ,  5F047FA08