特許

J-GLOBAL ID：200903090200764638

表面処理された成膜装置用部品および成膜装置用部品の表面処理方法

発明者： 幸 一也 ,  中島 禎宏
出願人/特許権者： 株式会社新菱
代理人 (1件)： 岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329893
公開番号（公開出願番号）：特開2001-152317
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】成膜装置内で好適に使用される表面処理された成膜装置用部品を提供する。【解決手段】凹凸粗面の表面を有し且つ凹部の表面と凸部の表面とが実質的に同一の粗度(Ra)を有している。斯かる成膜装置用部品は、例えば、金属溶射によって下地層を形成した後、網目状開口を有するスクリーンを使用し当該網目状開口を通じて金属を溶射することにより上記の下地層の表面に凹凸粗面を形成し、次いで、ビーズブラスト処理によって凹凸粗面の凹部を除去することにより製作される。

請求項（抜粋）：

成膜装置内で使用される成膜装置用部品であって、凹凸粗面の表面を有し且つ凹部の表面と凸部の表面とが実質的に同一の粗度(Ra)を有していることを特徴とする表面処理された成膜装置用部品。

IPC (4件)：

C23C 14/00 ,  C23C 4/08 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

C23C 14/00 B ,  C23C 4/08 ,  C23C 16/44 B ,  H01L 21/31 A

Fターム (21件)：

4K029DA10 ,  4K029FA02 ,  4K030KA12 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  4K031AA08 ,  4K031AB03 ,  4K031BA01 ,  4K031BA06 ,  4K031CB08 ,  4K031CB39 ,  4K031DA01 ,  4K031DA03 ,  4K031DA04 ,  4K031FA13 ,  5F045AA18 ,  5F045AA19 ,  5F045BB15 ,  5F045BB17 ,  5F045EB02 ,  5F045EC05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薄膜形成装置用部材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-006759   出願人：トーカロ株式会社