特許

J-GLOBAL ID：200903090210445557

レジスト剥離剤

発明者： 木原 康夫 ,  大川 雄士 ,  橋本 浩一
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125643
公開番号（公開出願番号）：特開平9-311467
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】 ドライエツチング工程やイオン注入工程を経て剥離性が低下したフオトレジストであつても、これを確実に剥離除去でき、しかも毒性や臭気が少なく腐食性もない汎用性に富むレジスト剥離剤を提供する。【解決手段】 レジスト剥離剤の有効成分として1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノンを使用する。

請求項（抜粋）：

1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノンを有効成分として含有することを特徴とするレジスト剥離剤。

IPC (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/308

FI (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/308 E ,  H01L 21/30 572 B