特許

J-GLOBAL ID：200903090210924200

複合基板を製造する方法

発明者： ヴオヤ・リスタ・マーコヴイツチ ,  シヤマ・プラサド・ムクハージー ,  ロバート・ランドルフ・シヤフアー ,  ドナルド・フイリツプ・セラフイン
出願人/特許権者： インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイシヨン
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016249
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021642
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【目的】 低い熱膨張係数を有すると共に弾性係数等の望ましい機械的な性質を有する複合基板を製造するための方法を提供する。【構成】 ガラス繊維製の基板を提供する工程と;前記基材に金属アルコキシドを含む液体ゾル/ゲルを付与する工程と;前記ゾル-ゲルを焼結し、これをガラス質の相又は混合された有機/無機ゲル相に転換させる工程と;前記の段階で得た複合体にポリマー製の薄膜を付与する工程とからなる。前記ガラス繊維製の基板は、ガラス繊維織物又は織られたガラス繊維であるのが好ましい。

請求項（抜粋）：

複合基板を製造する方法において、A) ガラス繊維製の基板を提供する工程と、B) 前記基材に金属アルコキシドを含む液体ゾル/ゲルを付与する工程と、C) 前記ゾル-ゲルを焼結し、これをガラス質の相又は混合された有機/無機ゲル相に転換させる工程と、D) 前記Cの段階で得た複合体にポリマー製の薄膜を付与する工程とからなる方法。

IPC (4件)：

H01L 23/14 ,  B32B 17/04 ,  B32B 31/12 ,  H05K 1/03

FI (2件)：

H01L 23/14 R ,  H01L 23/14 Z