露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺望稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-145025
公開番号（公開出願番号）：特開2003-337426
出願日： 2002年05月20日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：

【要約】【課題】光変調素子を用いて生成された露光ビームで走査露光を行う際に露光ビームの光量が均一となるように、露光開始前に光量を検出する光量検出器の設けられた露光装置において、光量の検出の精度を一定にしつつ光量検出器の数を減らし、処理回路の回路構成を簡略化する。【解決手段】露光装置は、露光ビームの延在方向に応じて一方向に延在するビーム入射面82と、ビーム入射面82の形状が変形し、ビーム入射面82の延在方向の幅が狭くなったビーム出射面84とを備える導光性シート部材86を有し、ビーム出射面84からの露光ビームを光量検出器90の受光面に集束させる。

請求項（抜粋）：

紫外波長領域を含むレーザ光を一方向に延在して射出するレーザ光生成手段と、所望の画像データに基づきレーザ光を空間変調するとともに、前記レーザ光の波長領域に感度を有する感光材料に、この空間変調された一方向に延在するレーザ光を露光ビームとして照射する露光手段とを有する露光装置であって、前記露光ビームの延在方向に応じて一方向に延在する光入射面および、この光入射面の形状が変形して前記光入射面の延在方向の幅に比べて幅の狭くなった光出射面を備え、前記光入射面から入射した光を前記光出射面に伝播する導光性シート部材と、前記光出射面から射出した光の光量を検出する光量検出器とを有し、前記露光手段から射出した露光ビームを前記導光性シート部材の前記光入射面に入射させ、前記光出射面から射出した露光ビームの光量を前記光量検出器を用いて検出することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 505 , G03F 7/20 501 , G02B 26/08

FI (3件)：

G03F 7/20 505 , G03F 7/20 501 , G02B 26/08 E

Fターム (9件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ05 , 2H097AA03 , 2H097CA12 , 2H097CA17 , 2H097LA09 , 2H097LA10

前のページに戻る