スパッタリング用ターゲット

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247126
公開番号（公開出願番号）：特開平6-065728
出願日： 1992年08月25日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】従来よりも高い冷却水の圧力に対してもターゲット部材の割れや、剥離を生じないような構造に工夫したスパッタリング用ターゲットを提供する。【構成】バッキングプレート1に対してターゲット部材2を接合しているスパッタリング用ターゲットにおいて、上記接合の領域を、ターゲット部材2の外周部分2Aを外した範囲に制限して、上記パッキングプレート1に対するターゲット部材2の接合をなしている。

請求項（抜粋）：

バッキングプレートに対してターゲット部材を接合しているスパッタリング用ターゲットにおいて、上記接合の領域を、ターゲット部材の外周部分を外した範囲に制限して、上記パッキングプレートに対するターゲット部材の接合をなしていることを特徴とするスパッタリング用ターゲット。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-035770
特開昭63-035770

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