特許
J-GLOBAL ID：200903090224556955
ウェハ用キャリア
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-095045
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302833
出願日： 1994年05月09日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：
【要約】【目的】輸送中にキャリアが振動を受けても、内部に収納されたウェハがキャリアと擦れず、擦れによる異物が発生しないようにする。【構成】ウェハ1を収納する本体2と、本体の上の開口を閉じる上蓋13と、下の開口を閉じる下蓋14とから構成される。本体2内には本体2内を仕切る仕切板15が設けられる。上蓋3と下蓋4との内側には、ウェハ1を弾性支持する振動吸収体16が設けられる。振動吸収体16は、ウェハ1を受ける受け部7と、受け部7の両側に連設され外側を凸に湾曲した2本の脚部8と、脚部8に上蓋13または下蓋14の嵌合溝11、12に嵌合して振動吸収体16を上蓋13または下蓋14に固定する足部9とからなる。振動吸収体16の脚部8はバネ状となっている。振動吸収体16には、ウェハ単位に独立して設けられるように、振動吸収体16間にスリット17が設けられる。
請求項（抜粋）：
内部にウェハを弾性支持するための振動吸収体を設けたことを特徴とするウェハ用キャリア。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/86
, B65G 49/07
