加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156241
公開番号（公開出願番号）：特開平6-342008
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】加速度センサからの配線の引出しを、絶縁基板に形成した一対の電極部で構成した固定電極により行うことで、加速度を静電容量として正確に検出することができる。【構成】シリコン板にエッチングにより質量部14を有する可動部11を形成する。そして、可動部11の下側には可動電極16を形成すると共に、対向する位置に一対の電極部21,22からなる固定電極20を形成する。これにより、質量部14の上下方向の加速度を静電容量の変化として検出できる。また、電極部21,22からのみ配線の取出しを行うことにより、配線の引回しが原因となって浮遊容量が検出信号に加わるのを防止し、加速度の検出感度を向上する。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、該絶縁基板上に位置して設けられ、梁を介して変位する質量部を有する可動部と、前記絶縁基板との対向面側に位置して、該可動部の質量部に形成された可動電極と、該可動電極と対向する位置で前記絶縁基板上に形成され、ほぼ同一面積をもった一対の電極部からなる固定電極と、該固定電極の各電極部にそれぞれ接続した状態で前記絶縁基板上に設けられた一対の信号取出し線とから構成してなる加速度センサ。

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