静電吸着装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314489
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154745
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】残留吸着力の消失の早い応答性の良い静電吸着装置と、その製造方法、及びそれを備えたウエハ処理装置を提供する。【解決手段】静電吸着装置の誘電体膜を、抵抗率の異なる誘電体膜を積層した構造とする。また、実際にウエハに接触する最上段の誘電体膜は溶射法により付けるか、またはあらかじめ積層構造となるようにグリーンシートを一体で成形し焼成する。

請求項（抜粋）：

外部から電圧を印加可能な電極を少なくとも1個含み、前記電極の少なくとも表面には誘電体膜が付けられ、前記誘電体膜の表面に設置された被吸着物と前記電極間に電位差を与え、前記被吸着物を静電的に吸着保持する静電吸着装置において、前記誘電体膜は抵抗率の異なる複数の誘電体膜が積層された構造を有することを特徴とする静電吸着装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , H02N 13/00 , C23C 16/44

FI (3件)：

H01L 21/68 R , H02N 13/00 D , C23C 16/44 F

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