特許
J-GLOBAL ID：200903090237506299
欠陥検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026350
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232038
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【構成】繰り返しパターン間の比較検査に際し、粗位置決め回路6で画像メモリ回路7からのメモリ画像信号8を参照してディジタル画像信号5の粗な位置調整を行い、差画像算出回路10では、補正済みディジタル画像深奥9よりあらかじめ指定したN×N画素の信号を取り出して、メモリ画像信号8から取り出したN×N画素の信号との間で、水平および垂直方向に1画素づつあらかじめ指定した最大画素数Mまでシフトさせながら画像間の差を求める。さらに、加算回路12で差画像の絶対値加算を行い、最小値検出回路14で最小となる値を取り出すことにより、パターンエッジでの差異を小さくし、欠陥部のみを検出する。【効果】比較検査において、パターンエッジのばらつきに影響されることなく欠陥のみを検出することが可能となる。
請求項（抜粋）：
XYテーブル上に載置した対象物を走査する光電変換スキャナと、この光電変換スキャナからの画像信号をディジタル画像信号に変換するA/D変換回路と、このA/D変換回路からのディジタル画像信号を記憶する画像メモリ回路と、前記XYテーブルを対象物の繰り返しパターン分だけ移動させたのち前記光電変換スキャナで走査して前記A/D変換回路から出力されるディジタル信号に前記画像メモリ回路から読みだしたメモリ画像信号を参照して粗な位置補正を行う粗位置決め回路と、この粗位置決め回路から出力される補正済みディジタル画像信号よりN×N画素の信号を取り出し前記メモリ回路信号から取り出したN×N画素の信号と水平および垂直方向に1画素づつあらかじめ指定した最大画素数までシフトさせながら差画像を生成する差画像算出回路と、この差画像算出回路から出力される差画像からN×N画素について絶対値の総和を求め総和信号を生成する加算回路と、この加算回路から出力される総和信号の値が前述した最大ビット数Mまでシフトさせて最小となる値を求める最小値検出回路と、この最小値検出回路から出力される最小値が一定値以上のものを欠陥として取り出す欠陥検出回路とを備えてことを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, H05K 3/00
