特許
J-GLOBAL ID：200903090242293805
基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-239077
公開番号（公開出願番号）：特開平8-107136
出願日： 1994年10月03日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 基板に反りがあっても良好に基板を支持して搬送することが可能でかつそのハンド部分の厚みが小さな基板搬送装置を提供すること。【構成】 加圧装置82に接続されている電磁弁83C、83Dの切り換えによって吸着保持機構39A、39A、39B、39Bの下部の閉空間237の圧力を調整し、ダイアフラム139A上に固定されたパッド239を上昇させて基板Wを支持させるので、基板Wに反りがあっても良好に基板Wを支持して搬送することが可能となる。しかも、閉空間237の圧力調整のみによってパッド239の上下動を調節するので、ハンドの厚みが小さなものとなる。さらに、真空吸引装置81に接続される電磁弁83A、83Bの調節によって基板Wがパッド239に吸着支持されるので、基板Wの保持がより確実なものとなる。
請求項（抜粋）：
基板を下方から支持して搬送する基板搬送装置において、基板を受け渡しするために移動自在であるとともに、平坦な上面とその上面に向けて開口する凹部が形成されたハンドと、凹部内に配置されてその下方に閉空間を形成する可撓性部材と、閉空間内の圧力を調整する圧力調整手段と、可撓性部材に支持され、圧力調整手段により閉空間内の圧力が調整されて可撓性部材が上向きに凸の形状となった際に、ハンドの上面から突出して基板を下方から支持する基板支持部材と、を有することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G02F 1/13 101
