特許
J-GLOBAL ID：200903090246251597
基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005720
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209241
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 上下方向の空間を有効に利用することにより設置面積を低減することができる基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置を提供することである。【解決手段】 処理領域Bは上部処理領域B1および下部処理領域B2を含む。上部処理領域B1には複数の基板処理ユニット201が複数段に配置され、下部処理領域B2にも複数の基板処理ユニット202が複数段に配置される。上部処理領域B1および下部処理領域B2に対応して上部搬送領域および下部搬送領域が配置される。上部搬送領域には基板搬送ユニット101が設けられ、下部搬送領域には基板搬送ユニット102が設けられる。各基板搬送ユニット101,102は伸縮昇降機構4を含む。上部搬送領域と下部搬送領域との間は間仕切り25で遮蔽される。搬送領域の一端部側には基板を上下方向に搬送する昇降装置300が設けられる。
請求項（抜粋）：
上下に配置された複数の搬送領域にそれぞれ搬送手段が設けられ、各搬送手段は、基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部を鉛直方向に移動させる駆動部とを含み、前記駆動部は上下に伸縮する伸縮昇降機構からなることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B25J 5/02 A
