特許

J-GLOBAL ID：200903090260050910

相対密度の異なる炭化珪素系セラミックス材料の製造方法

発明者： 岸本 昭 ,  豊口 銀二郎
出願人/特許権者： 財団法人生産技術研究奨励会
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-281628
公開番号（公開出願番号）：特開2003-089580
出願日： 2001年09月17日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【課題】 相対密度を低減して、応力に対する感度を保持しつつ、耐熱衝撃性、耐熱サイクル性に優れた圧力センサーの製造方法を提供すること。【解決手段】 炭化珪素セラミックス粉末に20重量%以下のアルミナおよびイットリアを焼結助剤として混入してHIP処理により焼結する炭化珪素系セラミックス材料の製造方法において、前記焼結助剤添加量ならびに前記HIP処理工程における圧力をほぼ一定とし、前記HIP処理工程における焼成温度を変化させることにより、相対密度の異なるセラミックス材料を製造する。

請求項（抜粋）：

炭化珪素粉末に20重量%以下のアルミナおよびイットリアを焼結助剤として混入して熱間静水圧加圧処理により焼結する炭化珪素系セラミックス材料の製造方法において、前記焼結助剤添加量ならびに前記熱間静水圧加圧処理工程における圧力をほぼ一定とし、前記熱間静水圧加圧処理工程における焼成温度を変化させることにより、相対密度の異なるセラミックス材料を製造することを特徴とする炭化珪素系セラミックス材料の製造方法。

FI (3件)：

C04B 35/56 101 S ,  C04B 35/56 101 F ,  C04B 35/56 101 C

Fターム (8件)：

4G001BA03 ,  4G001BA09 ,  4G001BA22 ,  4G001BB03 ,  4G001BB22 ,  4G001BC43 ,  4G001BD04 ,  4G001BD23