特許

J-GLOBAL ID：200903090261589596

ターボ分子ポンプ

発明者： 井口 昌司 ,  桜井 充
出願人/特許権者： 株式会社大阪真空機器製作所
代理人 (1件)： 小山 輝晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-187029
公開番号（公開出願番号）：特開平5-106587
出願日： 1991年07月02日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：

【要約】【目的】 動翼にかかる応力を増加することなく排気性能を向上したターボ分子ポンプを得る。【構成】 ターボ分子ポンプ1において前記吸気口側動翼4aの外径Aを排気口側動翼5aの外径Bより大きくし、吸気口側動翼4aの周速が増加し、該動翼4aの応力条件をきびしくしない範囲で排気速度が向上する。

請求項（抜粋）：

筐体内に動翼と静翼とを有するターボ分子ポンプにおいて、吸気口側動翼の外径を排気口側動翼の外径より大きくしたことを特徴とするターボ分子ポンプ。