特許
J-GLOBAL ID：200903090266260177
レイアウト検証ルール生成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-203679
公開番号（公開出願番号）：特開平9-050457
出願日： 1995年08月09日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：
【要約】【課題】 信頼性の高いレイアウト検証ルールを容易に作成できるレイアウト検証ルール生成装置を得る。【解決手段】 半導体製造過程のプロセスでそのレイアウトパターンが所定のレイアウトパターンに作成されているかどうかを検証するためのレイアウト検証ルールを生成するものにおいて、予め準備されたレイアウト検証ルールのひな形1とデザインルールの検証項目に対する変数およびチェック値を記述したチェック値テーブル4とを入力として、レイアウト検証ルールを生成するレイアウト検証ルール生成手段3を設けた。
請求項（抜粋）：
半導体製造過程のプロセスでそのレイアウトパターンが所定のレイアウトパターンに作成されているかどうかを検証するためのレイアウト検証ルールを生成するものにおいて、予め準備されたレイアウト検証ルールのひな形とデザインルールの検証項目に対する変数およびチェック値を記述したチェック値テーブルとを入力として、レイアウト検証ルールを生成するレイアウト検証ルール生成手段を設けたことを特徴とするレイアウト検証ルール生成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G06F 15/60 666 C
, H01L 21/66 J
