特許
J-GLOBAL ID：200903090278453701
集積型AFMセンサー及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-117572
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307852
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 高分解能の集積型AFMセンサー及びその製造方法を提供する。【構成】 片持ち梁部のガラス等からなる支持部103 と、該支持部103 に一端を支持されたシリコン等で形成された片持ち梁部101 と、該片持ち梁部101 の表面に設けられた片持ち梁部の変位を検出するボロンを拡散したシリコンからなる抵抗層104 と、片持ち梁部101 の自由端の裏面に設けられた窒化シリコンからなる探針部102 と、抵抗層104 に接続された電極部105 とで集積型AFMセンサーを構成する。
請求項（抜粋）：
片持ち梁の支持部と、該支持部より伸びるように配置された片持ち梁と、該片持ち梁の表面に設けた該片持ち梁の変位を検出する変位検出部と、前記片持ち梁の自由端であって、該片持ち梁に対して前記支持部と反対側である裏面に設けたシリコン化合物からなる探針部とを備えていることを特徴とする集積型AFMセンサー。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, H01J 9/14
, H01J 37/28
