特許
J-GLOBAL ID：200903090291509171
複合樹脂用現像液
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-199228
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062858
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 PESとの混合系からなる感光基を有する複合樹脂に対して、現像残渣がなく、かつ解像度に優れる現像を達成し得るような現像液を提供すること。【構成】 感光基を有する樹脂とポリエーテルスルホン(PES)からなる樹脂組成物の現像液であって、この現像液の主成分が、CH3O-(CH2CH2O)n -CH3(n=1〜5)の一般式で表されることを特徴とする複合樹脂用現像液である。
請求項（抜粋）：
感光基を有する樹脂とポリエーテルスルホン(PES)からなる樹脂組成物の現像液であって、この現像液の主成分が、CH3O-(CH2CH2O)n -CH3(n=1〜5)の一般式で表されることを特徴とする複合樹脂用現像液。
IPC (3件)：
G03F 7/32
, C08L 81/06 LRF
, G03F 7/039 501
