特許
J-GLOBAL ID：200903090291752432
不純物の拡散方法および拡散装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-000612
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315271
出願日： 1991年01月08日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【構成】真空チャンバー1と、この真空チャンバー1内に設けられ試料7を保持し加熱する加熱ホルダー11と、ガス導入口2と、試料7の側面に電子線を照射するための電子銃3と、電子線照射により発生した二次電子信号および電子線誘起電流とを増幅する増幅器8と、これらの信号を表示するCRT10とから主に構成される。【効果】不純物の拡散接合面をリアルタイムで容易に制御することができる。更に拡散のための条件出しが不要になり歩留りもほぼ100%となる。
請求項（抜粋）：
真空チャンバーと、この真空チャンバー内に設けられ試料を保持するためのホルダーと、この試料を加熱するための加熱手段と、前記真空チャンバー内にドーピングガスを導入するためのガス導入口と、前記試料の側面に電子線を照射するための電子銃と、電子線照射により発生した二次電子信号および電子線誘起電流とを検出するための手段とを含むことを特徴とする不純物の拡散装置。
IPC (3件)：
H01L 21/22
, H01L 21/263
, H01L 21/66
