特許

J-GLOBAL ID：200903090292301493

光源装置、露光装置及び露光方法

発明者： 小山 元夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-131219
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335826
出願日： 2003年05月09日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】個々の固体光源ユニットに電力を供給するための端子電圧及び端子電流を過度に増大させることなく最適な被照射面上の露光パワーを得ることができる光源装置を提供する。【解決手段】複数個の固体光源素子1aを有する固体光源ユニット1bを複数個備える光源装置1であって、前記光源装置1に設けられた前記固体光源ユニット1bの個数をn、前記光源装置1より射出される照明光の仕事率の総和をW(W)、前記固体光源ユニット1bに含まれる前記固体光源素子1aの平均仕事率をp(W)としたとき、1/2(W/p)1/2≦n≦2(W/p)1/2の条件を満足する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

複数個の固体光源素子を有する固体光源ユニットを複数個備える光源装置であって、 前記光源装置に設けられた前記固体光源ユニットの個数をn、前記光源装置より射出される照明光の仕事率の総和をW(W)、前記固体光源ユニットに含まれる前記固体光源素子の平均仕事率をp(W)としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする光源装置。 1/2(W/p)1/2≦n≦2(W/p)1/2

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515A ,  G03F7/20 521

Fターム (4件)：

5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA10 ,  5F046DA01