特許

J-GLOBAL ID：200903090294127911

静電モータ

発明者： 成田 秀夫 ,  池田 満昭
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-208069
公開番号（公開出願番号）：特開平8-051786
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】 可動子と固定子の間の摩擦抵抗が小さく、安定して高速で移動できる静電モータを提供する。【構成】 絶縁体21、21’の表面に金属薄膜からなる固定子電極22、22’を一定の間隔で設けた固定子2、2’と、絶縁体11の表面に前記固定子電極面に対向して金属薄膜からなる可動子電極12、12’を固定子電極22、22’と所定の関係になるように設けた可動子1とを有する静電モータにおいて、固定子電極22、22’および可動子電極12、12’は、固定子2、2’および可動子1の表面にそれぞれ所定の間隔を置いて設けた溝部13、23、23’の中にそれぞれ設けられ、固定子2、2’と可動子1との間に絶縁性潤滑油を充填したものである。

請求項（抜粋）：

絶縁体の表面に金属薄膜からなる固定子電極を一定の間隔で設けた固定子と、絶縁体の表面に前記固定子電極面に対向して金属薄膜からなる可動子電極を前記固定子電極と所定の関係になるように設けた可動子とを有する静電モータにおいて、前記固定子電極および前記可動子電極は、前記絶縁体の表面にそれぞれ所定の間隔を置いて設けた溝部にそれぞれ設けられ、前記固定子と前記可動子との間に絶縁性潤滑油を充填したことを特徴とする静電モータ。