特許
J-GLOBAL ID：200903090296743903
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-097998
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283277
出願日： 1994年04月11日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 不良品としての素子の判別を確実に行なうことが可能な構造を備えたプローブ装置を提供すること。【構成】 プロービング後に不良素子を対象として塗布された素子のマークを画像認識部32によって検出し、その信号が制御部30に入力されると、制御部30ではそのマークが所定条件を満たしているかどうかを判定し、満たしていない場合に、再度マーキング処理18を実行する。これによって、良品と不良品との区別が確実に行なえる。
請求項（抜粋）：
プローブ針により素子のパッドの電気的特性を検査し、不良素子として判定された素子にマーキングを実施するプローブ装置において、不良素子に対してマーキングを行なうマーキング手段と、上記マーキング手段により付けられたマークの形成状態を認識する画像認識手段と、上記画像認識手段によって認識されたマークの形成状態に基づいて、マーキングの良否を判定する判定手段と、を備え、上記マーキング手段は、上記判定手段により不良素子のマーキングが適正でない場合に、再度、上記マーキング手段によるマーキングを実行することを特徴とするプローブ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
