粒子測定装置およびその測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-042660
公開番号（公開出願番号）：特開平11-241981
出願日： 1998年02月24日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【課題】測定圧子により被測定粒子を圧接する接触点を正確にキャッチできるようにし、その後の測定値が正確に得られる装置およびその測定方法を得ることにある。【解決手段】イメ-ジセンサカメラ20に照明装置の光の度合をドットの白黒反転度合で判定して測定圧子6の押圧面8が被測定粒子Fに接触したことを判定する画像処理部27を設けたものである。又、この接触点をイメ-ジカメラ20で測定する方法である。

請求項（抜粋）：

被測定粒子(F)をセットする取付台(4)と、前記取付台(4)に向かって移動自在に取付けられた押圧面(8)を有する測定圧子(6)と、前記測定圧子(6)を前記取付台(4)へ移動させる移動手段(11)と、前記測定圧子(6)により前記被測定粒子(F)が押圧される負荷重を測定する荷重測定センサ(10)と、前記移動手段(11)と同期して移動する移動台(12)に取付けられて前記測定圧子(6)の前記被測定粒子(F)と接触する押圧面(8)に焦点が合されて移動するイメージセンサカメラ(20)と、前記イメージセンサカメラ(20)に対して前記被測定粒子(F)を照らす照明装置(18)とを具備し、前記イメージセンサカメラ(20)には前記押厚面(8)と前記被測定粒子(F)との接触点を前記照明装置(18)からの光によるドットの白黒反転度合数で判定して前記測定圧子(6)の押圧面(8)が前記被測定粒子(F)に接触したことを確認する画像処理部(27)を有することを特徴とする粒子測定装置。

IPC (3件)：

G01N 3/00 , G01B 11/16 , G01N 15/10

FI (3件)：

G01N 3/00 L , G01B 11/16 H , G01N 15/10 A

前のページに戻る