特許
J-GLOBAL ID：200903090308472749
ウエハのリソグラフィー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102748
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284403
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 一連の処理から人手の介入を排除してリソグラフィー工程を自動化し、かつ重ね合わせ検査から露光条件決定へのフィードバックをリアルタイム的に行なえるようにする。【解決手段】 1枚のウエハに、レジスト塗布ユニット4でレジスト塗布が行なわれ、そのウエハに初めに設定された条件に従って露光が行なわれる。露光後のウエハが現像処理され、重ね合わせ検査が行なわれる。重ね合わせ検査の結果が許容範囲内であれば、その検査結果が露光ユニット6へフィードバックされて次のウエハの露光条件が決定され、その決定された条件で露光処理される。あるウエハの重ね合わせ検査の結果が許容範囲内でなかった場合には、そのウエハのレジストが除去され、再びレジスト塗布、露光、現像、及び重ね合わせ検査が繰り返される。
請求項（抜粋）：
1枚ずつのウエハにレジストを塗布するレジスト塗布ユニットと、レジストが塗布されたウエハにマスクを通して露光しパターンを転写する露光ユニットと、露光されたウエハを現像する現像ユニットと、現像後のウエハのパターンの重ね合わせ精度を検査する重ね合わせ測定ユニットと、ウエハに塗布されたレジストを除去するレジスト除去ユニットと、それらのユニット間でウエハを搬送する搬送機構と、制御装置とを備え、かつ、各ユニットが前記搬送機構によるウエハ搬送範囲内に配置されており、前記制御装置は、前記搬送機構によるウエハの搬送を制御するとともに、前記レジスト塗布ユニットにおけるウエハへのレジスト塗布を実行し、レジストが塗布されたウエハに対する前記露光ユニットでの露光及び前記現像ユニットでの現像を1枚ずつ実行させ、前記重ね合わせ測定ユニットにおける重ね合わせ精度の検査を実行させ、その検査結果が許容範囲内であればその検査結果に基づいてその後のウエハの露光条件を決定し、その検査結果が許容範囲内でなければそのウエハのレジストを前記レジスト除去ユニットで除去させた後、レジスト塗布、露光、現像及びパターン重ね合わせ精度検査を繰り返すように、自動的に制御するものであることを特徴とするリソグラフィー装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 502 J
, H01L 21/68 A
, H01L 21/30 569 D
