特許
J-GLOBAL ID：200903090310931114
半導体試験装置及び半導体試験方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-278435
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123216
出願日： 1996年10月21日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 半導体製品のテスト工程への入荷予定の変更や装置の故障など、突発的な外乱に柔軟に対応でき、精度の良いスケジュールを決定できる。【解決手段】 スケジュール手段11は、入力データ記憶手段7から製品の品種、製品の数量等を、また、優先度演算手段9から製品の優先指数などのスケジュールに必要なデータを入力し数時間分のテスタの割り付けを行う。求められたスケジュール結果は、スケジュール結果記憶手段12に記憶される。また、再スケジュール判断手段16では、故障情報収集手段14及び実績データ収集手段15の出力内容に基づき、故障が発生した場合、実際のテスト進捗がスケジュール結果記憶手段12に記憶されたスケジュール結果と著しく異なる場合、または、入力データ記憶手段7によりテスト工程への製品の入荷予定が変更になった場合等には、スケジュールをやり直すためスケジュール手段11を起動する。
請求項（抜粋）：
被測定製品に関する入力データを記憶する入力データ記憶手段と、前記入力データ記憶手段に記憶されている前記入力データからテスト優先度を決定する優先度演算手段と、前記入力データ記憶手段に記憶されている前記入力データと前記優先度演算手段により決定された前記優先度に基づいて、テスタを割付けるためのスケジュール結果を求めるスケジュール手段と、前記スケジュール手段により求められた前記スケジュール結果を記憶するスケジュール結果記憶手段と、前記テスタによる試験に基づくテスト実績データを収集する実績データ収集手段と、前記実績データ集積手段及び前記スケジュール記憶手段にそれぞれ記憶されている前記実績データ及び前記スケジュール結果に基づいて、再度スケジュールを実行すべきか否かを判断し、再スケジュールを実行すべきであると判断した場合に、新たなスケジュール結果を求めるために前記スケジュール手段を起動する再スケジュール判断手段とを備えた半導体試験装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/28 H
, H01L 21/66 Z
