特許

J-GLOBAL ID：200903090315064788

質量流量センサ

発明者： エッカルト ライレン ,  イリ マレク ,  フランク バンツィエン ,  ギュンター フィンドラー ,  ミヒャエル オッフェンベルク ,  ヨーゼフ クラインハンス ,  ウーヴェ コンツェルマン ,  ボト ツィーゲンバイン
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-028085
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005010
出願日： 1994年02月25日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 測定素子がフレームに固定されている振動板に取り付けられている質量流量センサにおいて、フレームを薄く形成して、シリコン板の必要な大きさを低減することである。【構成】 シリコン板4の裏面に、該シリコン板の下面に対して垂直である側壁を有する凹所5を形成する。

請求項（抜粋）：

振動板(2)上に測定素子(1)を備えた質量流量センサであって、前記測定素子(1)は媒体に比べて比較的高い温度を有しかつ媒体への熱伝達から媒体の流れの強さを測定し、かつ前記振動板(2)は、裏面に凹所(5)を有する単結晶のシリコン板(4)として構成されているフレーム(3)に保持されている形式のものにおいて、前記凹所(5)は、前記シリコン板(4)の下面に対して垂直である側壁を有することを特徴とする質量流量センサ。

IPC (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-005572
  
• 特開昭56-080174