特許

J-GLOBAL ID：200903090323808834

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム

発明者： 石川 力 ,  川口 卓 ,  木村 仁子
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 穂高 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-350991
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186670
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 特に鉄を含む合金に対して密着性を向上させ、エッチング時にレジストと金属との界面へのエッチング液のしみこみを防ぐ感光性樹脂組成物及び感光性フィルムを提供する。【解決手段】 (メタ)アクリル酸エステルと(メタ)アクリル酸を共重合成分としてビニルモノマーを共重合して得られるフィルム性付与ポリマー、光重合開始剤、一般式(I)で示されるエチレン性不飽和化合物及び-般式(II)で示される化合物を含有し、希アルカリ水溶液で現像可能な金属のエッチングに用いられる感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム。(式中のR1、R2は水素原子又はメチル基、nは1〜25の整数を表わす。)(R3、R4、R5はアルキレン基等、R6、R7、R8はイソシアネートと活性水素を持つ化合物が反応した際に得られる残基を表わす。)

請求項（抜粋）：

(A)(メタ)アクリル酸エステルと(メタ)アクリル酸を共重合成分としてビニルモノマーを共重合して得られる重量平均分子量30,000〜200,000のビニル系共重合化合物のフィルム性付与ポリマー、(B)光重合開始剤、(C)次の一般式(I)で示されるエチレン性不飽和化合物及び【化1】(式中のR1、R2は互いに独立して水素原子又はメチル基を表わし、nは1〜25の整数を表わす。)(D)次の-般式(II)で示される化合物【化2】(式中のR3、R4、R5は互いに独立して、アルキレン基、置換アルキレン基、アルキレンオキシ基、アリール基、置換アリール基のいずれかであり、R6、R7、R8は互いに独立して、イソシアネートと活性水素を持つ化合物が反応した際に得られる残基を表わす。)を含有し、希アルカリ水溶液で現像可能な金属のエッチングに用いられる感光性樹脂組成物。

IPC (11件)：

G03F 7/085 ,  C08F 2/50 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/12 ,  H05K 3/28 ,  H01L 23/50

FI (12件)：

G03F 7/085 ,  C08F 2/50 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/12 D ,  H05K 3/28 D ,  H01L 23/50 A ,  H01L 21/30 502 R