特許
J-GLOBAL ID:200903090335149836

スタンパ、光情報記録媒体の製造方法、光情報記録媒体及びスタンパ表面処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-300795
公開番号(公開出願番号):特開2007-109336
出願日: 2005年10月14日
公開日(公表日): 2007年04月26日
要約:
【課題】光硬化性樹脂を用いたフォトポリマ法に使用する、微細化された転写パターンでも高耐久性かつ光透過性スタンパを提供する。【解決手段】対象基板上に案内溝、及び/又は、ピット状の凹凸4の形状転写を行うのに使用するスタンパ3において、その材質が石英からなり、前記対象基板23上の紫外線硬化樹脂24にフォトポリマ法を用いて案内溝、及び/又は、ピット状の凹凸4を転写する。【選択図】図12
請求項(抜粋):
対象基板上に案内溝、及び/又は、ピット状の凹凸の形状転写を行うのに使用するスタンパにおいて、その材質が石英からなり、前記対象基板上の紫外線硬化樹脂にフォトポリマ法を用いて前記案内溝、及び/又は、ピット状の凹凸を転写することを特徴とするスタンパ。
IPC (2件):
G11B 7/26 ,  B29C 33/42
FI (3件):
G11B7/26 511 ,  G11B7/26 531 ,  B29C33/42
Fターム (21件):
4F202AA44 ,  4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AG19 ,  4F202AH79 ,  4F202AJ06 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA30 ,  4F202CB01 ,  4F202CD07 ,  4F202CD23 ,  4F202CK43 ,  5D121AA06 ,  5D121CA01 ,  5D121CA05 ,  5D121CA07 ,  5D121DD07 ,  5D121EE21 ,  5D121EE26 ,  5D121EE28 ,  5D121GG02
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 光学記録媒体
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-217746   出願人:ソニー株式会社
  • 光ディスクの製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2003-077217   出願人:日本ビクター株式会社
  • 特開昭62-36756号公報

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