特許
J-GLOBAL ID：200903090335752729
スパッタリング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2002007719
公開番号（公開出願番号）：WO2003-014410
出願日： 2002年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月20日
要約：
成膜対象が移動可能に配置されたチャンバと、極性反転の2個を一組として前記チャンバ内に設置された複数組のカソードと、各組のカソードが個別に接続され、交流電圧が印加されて各組のカソードが同時放電する際、各組のカソードの放電が干渉しないように、それぞれの出力の周波数及び位相を同期させた複数のACカソード電源とを有している。複数組のカソードには、それぞれの出力の周波数及び位相を同期させた複数のACカソード電源から電圧が印加される。このため、同一チャンバ内に隣接配置され、それぞれ異なったACカソード電源に接続された複数のカソードが、同時に放電を開始しても、放電が不安定に揺らぐことがない。
請求項（抜粋）：
成膜対象が移動可能に配置されたチャンバと、
極性反転の2個を一組として前記チャンバ内に設置された複数組のカソードと、
各組のカソードが個別に接続され、交流電圧が印加されて各組のカソードが同時放電する際、各組のカソードの放電が干渉しないように、それぞれの出力の周波数及び位相を同期させた複数のACカソード電源と
を有することを特徴とするスパッタリング装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
C23C14/34 U
, C23C14/34 C
