インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-306373
公開番号（公開出願番号）：特開平10-181010
出願日： 1996年11月18日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】クロストークがなく、ウェハの大面積化が可能なインクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法の提供。【解決手段】加圧室基板1の一方の面に複数の加圧室106が設けられたインクジェットプリンタヘッドであって、加圧室基板1の加圧室106を設けた面と反対側の面における加圧室と相対する位置に溝108が形成され、当該溝108内には、加圧室内のインクを加圧する振動板膜102と、振動板膜102上に圧電体膜が上下電極で挟まれた圧電体薄膜素子(103〜105)と、が形成されている。少なくとも上部電極105の幅は、加圧室の幅より狭く形成されている。

請求項（抜粋）：

加圧室基板の一方の面に複数の加圧室が設けられたインクジェットプリンタヘッドであって、前記加圧室基板の加圧室を設けた面と反対側の面における当該加圧室と相対する位置に溝が形成され、当該溝内には、前記加圧室内のインクを加圧する振動板膜と、当該振動板膜上に圧電体膜が上下電極で挟まれた圧電体薄膜素子と、が形成されており、少なくとも前記上部電極の幅は、前記加圧室の幅より狭く形成されていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (5件)

インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-285699 出願人：富士通株式会社
特開平3-297653
インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-177412 出願人：株式会社村田製作所

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