特許

J-GLOBAL ID：200903090344557114

カ-ボン保護膜の膜厚測定方法

発明者： 西田 康代 ,  星 一男 ,  平塚 亮一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005725
公開番号（公開出願番号）：特開2000-207736
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 非常に薄いカーボン保護膜の膜厚を非破壊で高精度に、しかもインラインで測定可能とする。【解決手段】 非磁性支持体上に金属磁性薄膜及びカーボン保護膜を少なくとも積層形成してなる磁気記録媒体に対してラマン分光法による観測を行い、1000cm-1〜1800cm-1に出現するピーク面積値を用いて前記カーボン保護膜の膜厚を求める。構造的に異なるカーボンの全ての散乱ピークが認められる1000cm-1〜1800cm-1の蛍光によるバックグランドを差し引いた総ピーク面積値とカーボン膜厚の膜厚とには良好な相関性が見られ、かかるピーク面積値を求めることにより、磁気記録媒体表面のカーボン保護膜の膜厚が高精度に測定される。

請求項（抜粋）：

非磁性支持体上に金属磁性薄膜及びカーボン保護膜を少なくとも積層形成してなる磁気記録媒体に対してラマン分光法による観測を行い、1000cm-1〜1800cm-1に出現するピーク面積値を用いて前記カーボン保護膜の膜厚を求めることを特徴とするカーボン保護膜の膜厚測定方法。

IPC (2件)：

G11B 5/84 ,  G01B 11/06

FI (2件)：

G11B 5/84 C ,  G01B 11/06 Z

Fターム (18件)：

2F065AA30 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065BB17 ,  2F065CC02 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF00 ,  2F065GG05 ,  2F065GG22 ,  2F065HH04 ,  2F065LL67 ,  2F065PP16 ,  2F065PP22 ,  5D112AA07 ,  5D112BC05 ,  5D112FA02 ,  5D112JJ01