特許

J-GLOBAL ID：200903090347526082

金属間化合物融液を用いた高融点シリサイド結晶成長法

発明者： 野瀬 康男 ,  立岡 浩一 ,  桑原 弘
出願人/特許権者： 静岡大学長
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248700
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072500
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】 高性能熱電デバイスに好適に用い得る大型・高品質のシリサイドバルク結晶、特にβ-FeSi2 結晶を液相から成長する方法を提供する。【解決手段】 シリコン基板と高温に保持した金属間化合物融液とを反応させてシリサイド結晶を得る高融点シリサイド結晶成長法である。金属間化合物として鉄アンチモン化合物を用いて、大型で高品質のβ-FeSi2 結晶を生成することができる。

請求項（抜粋）：

シリコン基板と高温に保持した金属間化合物融液とを反応させてシリサイド結晶を得る高融点シリサイド結晶成長法。

IPC (2件)：

C30B 29/52 ,  H01L 35/14

FI (2件)：

C30B 29/52 ,  H01L 35/14

Fターム (4件)：

4G077AA02 ,  4G077BE05 ,  4G077CC04 ,  4G077ED06