特許

J-GLOBAL ID：200903090351776875

感放射線性樹脂組成物

発明者： 井上 昌章 ,  大田 利幸 ,  白木 真司 ,  宮本 秀俊 ,  勇元 喜次 ,  三浦 孝夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-093253
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043647
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【構成】 (A)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、(B)重量平均分子量10,000以下のポリビニルフェノールの如きフェノール性化合物、(C)酸の存在下で前記(A)成分および/または(B)成分を架橋しうる化合物、および(D)例えばハロメチル基を持つトリアジン化合物の如き感放射線性酸形成剤を含有する感放射線性組成物。【効果】 高感度、高解像度、高残膜率および高耐熱性のネガ型レジストとして好適に使用できる。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、(B)ゲルパーミエーションクロマトグラフ測定による標準ポリスチレン換算での重量平均分子量が10,000以下のフェノール類、(C)酸の存在下で前記(A)成分および/または(B)成分を架橋しうる化合物、および(D)下記式(1)【化1】ここで、R01はトリハロメチル基、置換もしくは非置換のフェニル基または置換もしくは非置換のナフチル基であり、Xは同一でも異なっていてもよく、ハロゲン原子である、で表わされる化合物、下記式(2)【化2】で表わされる化合物および下記式(3)【化3】ここで、R03は水素原子、アルキル基、ヒドロキシル基またはアルコキシル基であり、Xは同一でも異なっていてもよく、ハロゲン原子であり、qは1〜3の数である、但しqが2または3のとき複数のR03は同一でも異なっていてもよい、で表わされる化合物よりなる群から選ばれる感放射線性酸形成剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  C08L 61/06 LNF ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027