特許

J-GLOBAL ID：200903090354161804

ラッピング装置、ラッピング方法及びロウツール

発明者： 須藤 浩二 ,  柳田 芳明
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 松本 昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-328734
公開番号（公開出願番号）：特開2002-137159
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2002年05月14日
要約：

【要約】【課題】 ロウバーの加工精度を高めるのに適したラッピング方法及び装置を提供することである。【解決手段】 ロウバーを研磨するラッピング装置であって、ラッピング面を提供するラップ定盤と、複数のスリットにより画成された複数のベンドセルを有するロウツールと、ロウツールをラップ定盤のラッピング面の方向に押し付ける押し付け機構と、ロウツールの各ベンドセルをラップ定盤のラッピング面に対してベンドするベンド機構を含んでいる。ベンド機構は、複数の複動型エアシリンダを有するエアシリンダユニットと、各複動型エアシリンダに作動的に連結された複数のラックと、各ラックにそれぞれ噛み合う同軸上に配置された複数のレバー付きピニオンと、各ラックにそれぞれ噛み合う同軸上に配置された複数の支持ピニオンと、各ラック、レバー付きピニオン及び支持ピニオンを実質上同一平面内で案内するガイド機構とを含んでいる。

請求項（抜粋）：

複数のヘッド素子が一列に形成されたロウバーを研磨するラッピング装置であって、ラッピング面を提供するラップ定盤と;複数のスリットにより画成された複数のベンドセルを有するロウツールと;前記ロウツールを前記ラップ定盤のラッピング面の方向に押し付ける押し付け機構と;前記ロウツールの各ベンドセルを前記ラップ定盤のラッピング面に対してベンドするベンド機構とを具備し;前記ベンド機構は、複数の複動型エアシリンダを有するエアシリンダユニットと;前記各複動型エアシリンダに作動的に連結された複数のラックと;一体的に形成されたレバーをそれぞれ有し、前記各ラックにそれぞれ噛み合う同軸上に配置された複数の第1ピニオンと;前記各第1ピニオンと離間して、前記各ラックにそれぞれ噛み合う同軸上に配置された複数の第2ピニオンと;前記各ラック、各第1ピニオン及び各第2ピニオンを実質上同一平面内で案内するガイド機構とを具備し;前記ロウツールの各ベンドセルは前記各レバーの先端が係合される係合穴を有しており、該係合穴に係合した各レバーの回転運動が前記ロウツールの各ベンドセルを前記ラップ定盤のラッピング面方向にベンドすることを特徴とするラッピング装置。

Fターム (7件)：

3C058AA07 ,  3C058AB01 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058BA05 ,  3C058DA16