特許
J-GLOBAL ID：200903090354228348
無接触式直線変位センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古澤 俊明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-041870
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229708
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】磁気センサの直線的な移動方向に対してセンシング用永久磁石を磁気センサの幅方向に傾斜させて配置することにより、変位を磁気センサの抵抗比として検出するものにおいて、磁気センサとして強磁性体薄膜を使えるようにし、センシング用永久磁石に安価なフェライト磁石を使えるようにし、かつ、出力の直線性の良いものを得ることを目的とする。【構成】磁気センサは、進退方向が長手方向となる多数の短冊状の強磁性体薄膜を直列に連結した2個の磁気検出素子を進退方向に対して直角方向に並べて間隔をもって配置するとともに電気的には直列に接続し、これらの磁気検出素子に進退方向の磁気バイアスを均等に印加する磁気バイアス磁石を磁気検出素子に臨設し、センシング用永久磁石は、前記磁気センサの幅方向にN極とS極を有するように配置する。
請求項（抜粋）：
変位を検出すべき物体とともに移動する磁気センサを設け、この磁気センサの直線的な移動方向に対してセンシング用永久磁石を磁気センサの幅方向に傾斜させて配置することにより、物体の変位を磁気センサの出力として検出する無接触式直線変位センサにおいて、磁気センサは、進退方向が長手方向となる多数の短冊状の強磁性体薄膜を直列に連結した2個の磁気検出素子を進退方向に対して直角方向に並べて間隔をもって配置するとともに電気的には直列に接続し、これらの磁気検出素子に進退方向の磁気バイアスを均等に印加する磁気バイアス磁石を磁気検出素子に臨設し、センシング用永久磁石は、前記磁気センサの幅方向にN極とS極を有するように配置したことを特徴とする無接触式直線変位センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭63-212803
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特開昭61-245003
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