特許
J-GLOBAL ID：200903090354660290
マルチチャンバ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-090247
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302668
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 管理運用における操作性の良好なマルチチャンバ技術を提供する。【構成】 ウェハ搬送チャンバ1の制御下には3台のプロセスチャンバ1a,1b,1cがあり、ウェハ搬送チャンバ2の制御下には3台のプロセスチャンバ2a,2b,2cがあり、ウェハ搬送チャンバ3の制御下には3台のプロセスチャンバ3a,3b,3cがあり、ウェハ搬送チャンバ4の制御下には3台のプロセスチャンバ4a,4b,4cがあり、ウェハ搬送チャンバ5の制御下には3台のプロセスチャンバ5a,5b,5cがあり、ウェハ搬送チャンバ6の制御下には3台のプロセスチャンバ6a,6b,6cがある。各ウェハ搬送チャンバ1〜6と複数のプロセスチャンバ1a〜1c、2a〜2c、3a〜3c、4a〜4c、5a〜5c、6a〜6cの帰属関係を、異なるハッチングや模様、色、濃淡でレイアウト表示する。
請求項（抜粋）：
被処理物に対して各々が独立に所望の処理を施す複数のプロセスチャンバと、複数の前記プロセスチャンバを外部環境から隔絶された密閉空間で相互に接続し、複数の前記プロセスチャンバの間における前記被処理物の搬送動作を行う搬送手段を備えた搬送チャンバとを含むマルチチャンバ装置であって、同一の制御系に属する前記プロセスチャンバおよび前記搬送チャンバを識別可能にレイアウト表示する表示手段を備えたことを特徴とするマルチチャンバ装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, C23C 14/56
, H01L 21/02
, B05C 9/00
, B05C 11/08
