特許

J-GLOBAL ID：200903090357418687

薄片試料の作製方法

発明者： 元井 泰子
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148074
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332556
出願日： 1997年06月05日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 ダイシングソーでの切削時に試料の膜剥がれを起こすことなく薄片化することができる薄片試料の作製方法の提供。【解決手段】 ダイシングソーで切削する前に予め固体試料表面に密着性の良い材料で保護膜を形成し、次いでダイシングソーで切削して固体試料を薄片化する。

請求項（抜粋）：

ダイシングソーで固体試料の特定個所の周辺部を切削し、ストライプ状に薄片化する薄片試料の作製方法において、ダイシングソーで切削する前に予め固体試料表面に密着性の良い材料で保護膜を形成し、次いでダイシングソーで切削して固体試料を薄片化することを特徴とする薄片試料の作製方法。

IPC (3件)：

G01N 1/28 ,  B28D 5/04 ,  G01N 1/32

FI (4件)：

G01N 1/28 G ,  B28D 5/04 C ,  G01N 1/32 B ,  G01N 1/28 P