特許

J-GLOBAL ID：200903090358443138

圧電体素子及びこれを用いた圧電アクチュエータ並びにこれを備えたインクジェットプリントヘッド

発明者： 川澄 勝則 ,  山田 健二 ,  町田 治 ,  山田 剛裕 ,  木田 仁司
出願人/特許権者： 日立工機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-164548
公開番号（公開出願番号）：特開2000-351212
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 圧電体素子の耐電圧特性を向上し、信頼性の高い圧電体素子及び圧電アクチュエータ及びインクジェットプリントヘッドを提供する。【解決手段】 下部電極と上部電極との間に形成された圧電体膜の薄肉欠陥部に絶縁性物質を充填した。

請求項（抜粋）：

下部電極と、前記下部電極上に形成された圧電体膜と、前記圧電体膜上に形成された上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記上部電極形成前の前記圧電体膜表面の薄肉部に絶縁性物質を充填したことを特徴とする圧電体素子。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/08 U

Fターム (12件)：

2C057AF52 ,  2C057AF66 ,  2C057AF93 ,  2C057AG93 ,  2C057AG94 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP27 ,  2C057AP51 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14