特許

J-GLOBAL ID：200903090359861120

分子ポンプ

発明者： 井口 昌司 ,  桜井 充 ,  岡本 正智 ,  室作 喜代志
出願人/特許権者： 株式会社大阪真空機器製作所
代理人 (1件)： 小山 輝晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067412
公開番号（公開出願番号）：特開平10-252684
出願日： 1997年03月05日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】 分子ポンプのロータに応力腐食割れが発生した場合にも、ターボ分子ポンプ部の動翼が飛散したり、或いは複合分子ポンプにおいて、ターボ分子ポンプ部とねじ溝真空ポンプ部の中間で共通ロータが破壊したりすることのないような分子ポンプを提供する。【解決手段】 筐体2内に吸気口A側からターボ分子ポンプ部3及びねじ溝真空ポンプ部4を順次配設した複合分子ポンプ1において、共通ロータ5の上端の外周部5aに近接してサポートリング6を設置すると共にねじ溝真空ポンプ部4のステータ4bを筐体2内に円周方向に摺動自在に設け、更に前記サポートリング6を構成する支柱6bは切り欠けノッチを有する折損し易い構造に形成した。

請求項（抜粋）：

ターボ分子ポンプのロータ端部の外周部に近接してサポートリングを設置したことを特徴とする分子ポンプ。