特許

J-GLOBAL ID：200903090367321711

基板処理装置

発明者： 原 孝志
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 川崎 実夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-250072
公開番号（公開出願番号）：特開2000-077499
出願日： 1998年09月03日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】基板処理装置の占有床面積を削減する。【解決手段】基板を搬送する基板搬送機構として、基板処理装置の天井部のフレーム35に懸架支持した基板搬送ロボットを用いる。この基板搬送ロボットは、フレーム35に懸架支持された基台部1と、この基台部1に対して、鉛直軸まわりの回動および昇降が可能な状態で支持された第1アーム11と、この第1アーム11の先端に鉛直軸まわりの回動が自在な状態で連結された第2アーム12と、この第2アーム12の先端に鉛直軸まわりの回動が自在な状態で連結された第3アーム13とを有する。第1アーム11、第2アーム12および第3アーム13は、モータ21,22,23によって、独立に回動駆動される。【効果】基板搬送機構を天井部から懸架支持したことにより、その下方の空間を、基板処理部またはその付帯設備の配置などに利用できる。

請求項（抜粋）：

基板に処理を施す基板処理部と、基板処理装置の上部から懸架支持され、上記基板処理部に対して基板を搬送するための基板搬送機構とを備えていることを特徴とする基板処理装置。

IPC (7件)：

H01L 21/68 ,  B01J 19/00 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/66

FI (7件)：

H01L 21/68 A ,  B01J 19/00 G ,  B25J 9/06 D ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 D ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/66 G

Fターム (35件)：

3F060AA01 ,  3F060BA10 ,  3F060CA21 ,  3F060DA09 ,  3F060DA10 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060FA01 ,  3F060GA13 ,  3F060GB02 ,  3F060GB19 ,  3F060HA29 ,  4G075AA22 ,  4G075EC13 ,  4G075EC15 ,  4G075EC30 ,  4G075ED06 ,  4G075ED08 ,  4M106AA01 ,  4M106DG05 ,  4M106DG08 ,  4M106DG28 ,  5F031AA10 ,  5F031CC12 ,  5F031CC13 ,  5F031CC22 ,  5F031CC43 ,  5F031CC45 ,  5F031EE03 ,  5F031EE04 ,  5F031EE12 ,  5F031KK04 ,  5F031LL01 ,  5F031LL05 ,  5F031LL07