特許

J-GLOBAL ID：200903090373275616

密着体と密着装置及び露光装置

発明者： 豊田 誠一郎 ,  船生 貞夫 ,  柏崎 哲夫
出願人/特許権者： 株式会社小野測器
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-315925
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148752
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 構造を簡単で小型化ができ、安価に製造できる。【構成】 原版フィルム2と感光性のある基板1とを整合させた状態で密着させる密着体404であって、原版フィルム2が位置決め貼付された透光性のある第1の保持部材401と、基板を外部から保持して整合させる貫通孔403aを有し、密着時にその貫通孔403aを基板1で封止する第2の保持部材403と、第1及び第2の保持部材401,403を気密に封止する封止部材402とを含み、第2の保持枠403の貫通孔403aを介して、基板1を直接整合する。

請求項（抜粋）：

原版フィルムと感光性のある基板とを整合させた状態で密着させる密着体であって、前記原版フィルムが位置決め貼付された透光性のある第1の保持部材と、前記基板を外部から保持して整合させる貫通孔を有し、密着時にその貫通孔を前記基板で封止する第2の保持部材と、前記第1及び第2の保持部材を気密に封止する封止部材とを含む密着体。

IPC (3件)：

G03B 27/20 ,  G03B 27/02 ,  G03F 7/20 511