特許

J-GLOBAL ID：200903090383855114

化学センサ

発明者： 柴谷 博志 ,  村石 賢介
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-040724
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233757
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】小型で簡便であり、微量の検体で足りると共に、高感度で分析応答性に優れた化学センサを提供する。【構成】測定対象物質と受容物質との反応熱を検出することによって測定対象物質の存在量を測定する化学センサにおいて、薄板基板3と薄板基板3の端縁と一体に形成された支持体4とを具備するセンサ本体2と、薄板基板3面に形成された温度検出素子5と、薄板基板3面に固定化された上記受容物質膜6とを具備する構成とする。この場合、温度検出素子として比較用及び検出用の一対のサーモパイルと、一方のサーモパイルの温接点部5ahを被覆する受容物質膜とをセンサ本体2の表面にリソグラフィ技術を用いて形成することが好ましい。

請求項（抜粋）：

測定対象物質と受容物質との反応熱を検出することによって測定対象物質の存在量を測定する化学センサにおいて、薄板基板と該薄板基板の端縁と一体に形成された支持体とを具備するセンサ本体と、該薄板基板面に形成された温度検出素子と、該薄板基板面に固定化された上記受容物質膜とを具備することを特徴とする化学センサ。