特許

J-GLOBAL ID：200903090391900854

電子線加速器のクリーニング方法

発明者： 島岡 義治
出願人/特許権者： 日新ハイボルテージ株式会社
代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018136
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202099
出願日： 1998年01月13日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 フィラメントから融点の低い不純物だけでなく炭素も除去することができ、しかもフィラメントおよびその周辺部品のクリーニングを短時間で行うことができるクリーニング方法を提供する。【解決手段】 このクリーニング方法は、電子線加速器2の真空容器4内を真空排気しながら当該真空容器4内に水素ガス40を導入し、かつフィラメント6を通電加熱すると共に当該フィラメント6と引出し電極10との間に引出し電源26からフィラメント6を負にして直流電圧を印加し、それによってフィラメント6と引出し電極10との間で放電を生じさせて水素プラズマ42を生成するものである。

請求項（抜粋）：

真空に排気される真空容器と、この真空容器内に設けられたフィラメントと、このフィラメントの近傍に設けられた引出し電極と、この引出し電極に対向するように前記真空容器に取り付けられていて当該真空容器の内外を分離する窓箔とを備え、前記フィラメントから引出し電極を通して引き出した電子線を窓箔を透過させて真空容器外に引き出す構成の電子線加速器において、前記真空容器内を真空排気しながら当該真空容器内に水素ガスを導入し、かつ前記フィラメントを通電加熱すると共に当該フィラメントと前記引出し電極との間に前者を負にして直流電圧を印加し、それによって前記フィラメントと引出し電極との間で放電を生じさせて水素プラズマを生成することを特徴とする電子線加速器のクリーニング方法。