特許

J-GLOBAL ID：200903090395809436

波長変動量測定装置

発明者： 多田 昭史
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-053994
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256708
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】 温度維持のための定温容器および温度制御機構あるいは圧力維持のための定圧容器および圧力制御機構の必要のない簡便な波長変動量測定装置を提供する。【構成】 測定光の高調波発生装置1と、光を広げるための拡散板2と、反射面間距離L1 のエタロン6と、エタロン6を配置した定温容器3と、定温容器3内の温度を一定に保つための温度制御装置4と、定温容器3内に光を導入するための窓5と、干渉縞を結像するための集光光学系8と、集光光学系8の焦点面近傍で集光光学系8からの距離F1 に配置した干渉縞を観測するための検出装置9とから構成される。

請求項（抜粋）：

測定光に対する高調波発生装置と、前記高調波発生装置通過後の測定光に対するファブリ-ペロー干渉計とを少なくとも備え、前記ファブリ-ペロー干渉計のエタロンを定温容器内に配置することを特徴とする波長変動量測定装置。