感光性樹脂組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-004573
公開番号（公開出願番号）：特開平8-193167
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】二層レジストプロセス法に好適に用いることができ、しかもO2 -RIE耐性の高いパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供する。【構成】エポキシ基を含むアルキル置換基を有するポリ(シロキサン)誘導体と、露光によって酸を発生する酸発生剤とを有してなる感光性樹脂組成物。ポリ(シロキサン)誘導体が、以下の式(1)で表される化合物か、式(2)で表される化合物か、もしくは式(1)で表される化合物と式(2)で表される化合物との共重合体である。【化1】(ただし、Rはエポキシ基を含むアルキル置換基あるいは炭化水素基を表す。また、エポキシ基を含むアルキル置換基は一つ以上含まれている。m、nは重合度を表す正の整数である。)

請求項（抜粋）：