インクジェット装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-042841
公開番号（公開出願番号）：特開平8-230199
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】【目的】ノズル内への接着剤の流れ込みをなくすこと。【構成】溝加工を行った圧電セラミックス板2に圧電セラミックス製の蓋6を接合してインク室4を形成した後、接着剤70を圧電セラミックス板2及び蓋6の端面に転写してノズルプレートに加工されるプレート59を接着する。次に、プレート59のエッチング液をインク室4に導入してプレート59に作用させることにより、プレート59はインク室4の形状をマスク代わりとして、エッチング独特の形状、すなわちエッチング液の進行方向に対して断面が減少していくテーパ形状にエッチングする。すると、インク室4とノズルプレートとのつなぎ目に従来のような段差が出来ることはなく、インク室4からスムースなノズルが作製される。

請求項（抜粋）：

インクを吐出するためのノズルが形成される基板と、前記ノズルに連通し、インクが充填されるインク室を備えたヘッド部材とを有するインクジェット装置の製造方法において、前記ノズルが形成されていない前記基板を、前記インク室が形成されたヘッド部材に接着する工程と、前記基板をエッチング可能な液体または気体を前記インク室に導入することにより前記基板に前記ノズルを形成する工程とからなることを特徴とするインクジェット装置の製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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