特許

J-GLOBAL ID：200903090411985665

マンガン系酸化物磁性体層の製造方法

発明者： 赤瀬川 章彦 ,  山中 一典
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 北野 好人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-062200
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260178
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 磁界を検出する磁気センサに用いるのに好適なマンガン系酸化物磁性体層の製造方法に関し、高磁界感度のマンガン系酸化物磁性体層を製造することができるマンガン系酸化物磁性体層の製造方法を提供する。【解決手段】 下地基板10上にマンガン系酸化物磁性体層16を形成するマンガン系酸化物磁性体層の製造方法であって、下地基板10の所望の位置に段差14を形成し、下地基板10上にマンガン系酸化物磁性体層16を堆積することにより、下地基板10の段差14上にマンガン系酸化物磁性体層16の結晶粒界16aを形成する。

請求項（抜粋）：

下地基板上にマンガン系酸化物磁性体層を形成するマンガン系酸化物磁性体層の製造方法において、前記マンガン系酸化物磁性体層の所望の位置に結晶粒界を形成する工程を含むことを特徴とするマンガン系酸化物磁性体の製造方法。

IPC (4件)：

H01F 41/18 ,  G11B 5/39 ,  H01F 10/18 ,  H01L 43/08

FI (4件)：

H01F 41/18 ,  G11B 5/39 ,  H01F 10/18 ,  H01L 43/08 M