特許

J-GLOBAL ID：200903090421593323

プラズマ装置

発明者： 小町 恭一 ,  吉識 隆裕 ,  片山 克生
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-039498
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236296
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【構成】マイクロ波導波路となる誘電体線路21と、この誘電体線路21に対向する面にマイクロ波導入口3が開口された金属製の反応容器1とを有し、このマイクロ波導入口3がマイクロ波導入板4で気密に封止されたプラズマ装置において、上記マイクロ波導入板4の厚みがマイクロ波の進行方向Xに対して漸増する。【効果】装置構成を複雑にすることなく、しかも安定して、液晶ディスプレイ用ガラス基板等の大面積の基板を十分な処理速度で均一にプラズマ処理することができる。

請求項（抜粋）：

マイクロ波導波路となる誘電体線路と、この誘電体線路に対向する面にマイクロ波導入口が開口された金属製の反応容器とを有し、このマイクロ波導入口がマイクロ波導入板で気密に封止されたプラズマ装置において、前記マイクロ波導入板の厚みがマイクロ波の進行方向に対して漸増することを特徴とするプラズマ装置。

IPC (6件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01P 5/08

FI (6件)：

H05H 1/46 B ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/205 ,  H01P 5/08 J ,  H01L 21/302 B